光学轮廓仪中使用的光学距离传感器的技术观察

光学车间检查

共聚焦显微镜共聚焦显微镜是最商业化的光学焦点传感系统之一。系统，该系统首先用于检测生物样品，最近用于测量工程表面干涉光学轮廓仪

(1)最早用于双波长和多波长干涉仪的干涉光学轮廓仪使用相移技术时是单色光照明。最好使用相移技术测量精度高，但是单色照明限制了测量范围。为了能够扩展测试在容量范围方面，双波长和多波长技术得到了进一步发展。双波长和多波长全息和散斑技术中也使用干涉原理来测量大直径分量。同时，使用条纹投影和结构光技术

(2)白光干涉测量法白光干涉测量系统早已为工程技术所建立。领先的光学轮廓仪，用于表面测量。白光干涉法可以看作是一种光学聚焦，最佳焦点取决于传感器的位置和干扰信号。此类设备的典型结构为：它由带有干涉物镜的常规显微镜组成。这种干涉仪与其他光学和探头轮廓技术相比，优点是不会进行全场扫描，点对点扫描。由于整个区域同时成像，因此水平扫描我不再需要了这也大大提高了测量速度。

(3)各频谱干涉仪的干扰技术形成的干涉条纹称为频谱干涉条纹。光谱干扰会通过使用干涉仪的可调源获取干涉仪或在干涉仪输出端使用它将分散元素放置在末尾以实现。不同的系统称为波长扫描干涉仪器或经光谱解析的白光干涉仪。这种测量技术不再是找到每个点的最重要方法。最重要的是测量边缘时段，其中包含测量目标的位置信息。这个技术避免了轴向机械扫描。

(4)干涉光学轮廓仪的光学测距传感器经常使用的技术已经确立。基于干涉式光学测距传感器技术或基于传感技术开发这种传感技术主要用于基于单个点的绝对距离或长度测量。量。要执行单点检测，您需要使用更快的检测器和光电设备，这是一种用于特殊任务的信号处理技术。

(5)偏振干涉仪某些干涉仪使用光的偏振特性。类似于微分干涉，两条光束在干涉仪内遵循几乎相同的路径。显微镜也是如此。偏振干涉仪使用偏振光来实现相移。这通常对振动的敏感性低。在评估某些亚显微结构特性时，光的偏振特性非常重要。有效。